Saures und ammoniakalisches Ätzen

  • Linie/Zwischenraum: 50/50  µm
  • Dicke: min. 0,1 mm, max. 3,2 mm
  • Dimension: max. 610 mm x 530 mm
Ausrüstung:
  • WISE SES horizontale Linie zum stripping vom Resist, ammoniakalisches Ätzen und Zinn strippen
  • Sigma Mecer MAschine für die Regeneration des ammoniakalisches Ätzmittel
  • WISE Linie für das sauren Ätzen (etching, stripping)

Ätzen